| 发明名称 | 膜去除方法、光电转换装置的制造方法、光电转换装置及膜去除装置 | ||
| 摘要 | 为了将基板(2)上形成的膜(3)分离为多个区域，将第1光束向膜(3)照射。通过将在多个区域之间残留有膜(3)的去除不良部位(DP)的膜(3)去除来进行修补(RP1)。由此，可提供能够以高的成品率将膜分离为多个区域的膜去除方法、利用该方法的光电转换装置(1)的制造方法以及膜去除装置(60)。 | ||
| 申请公布号 | CN102245344A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN200980150541.X | 申请日期 | 2009.12.18 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 丰川雅博;立花伸介 |
| 分类号 | B23K26/36(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I;B23K26/03(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/36(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李伟;张浩 |
| 主权项 | 一种膜去除方法，其特征在于，具有：为了将基板(2)上形成的膜(3)分离为多个区域，将第1光束向所述膜照射的工序；和通过将在所述多个区域之间残留有所述膜的去除不良部位(DP)的所述膜去除来进行修补(RP1)的工序。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||