一种用于发热体的钨管的制备方法

摘要

本发明涉及一种用于发热体的钨管的制备方法，属于难熔金属特种加工技术领域。将紫铜基体放入到沉积炉中，然后将紫铜基体加热至500～600℃；将WF6和H2的混合气体加入到沉积炉中，WF6和H2在紫铜基体表面及附近发生反应，生成W和HF，W沉积在紫铜基体表面；反应完成后，停止加热，然后关闭WF6，继续通入H2至300℃以下改通保护性气体冷却至室温，然后取出表面附着有钨的紫铜基体，用化学方法将紫铜基体腐蚀掉即获得钨管。本发明的方法中钨的沉积速率高、重复性好、操作简单；所制备的钨管纯度高、致密性好、薄壁管壁厚均匀、表面质量优异；2000℃条件下加热，发热体寿命可达3000h以上。

主权项

一种用于发热体的钨管的制备方法，其特征在于具体步骤为：1)将紫铜基体放入到沉积炉中，然后将紫铜基体加热至500～600℃；2)将WF6和H2的混合气体通入到沉积炉中，WF6和H2在紫铜基体表面及附近发生反应，生成W和HF，W沉积在紫铜基体表面，生成的HF和未反应的气体排出反应室；3)反应完成后，停止加热，然后关闭WF6，继续通入H2至300℃以下改通保护性气体冷却至室温，然后取出表面附着有钨的紫铜基体，用化学方法将紫铜基体腐蚀掉即获得钨管。