固体摄像装置及其制造方法以及电子设备

摘要

本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。

主权项

一种固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：在形成于基板上的硬质掩模的开口部内形成第一颜色滤光片成分、第二颜色滤光片成分、第三颜色滤光片成分中的任一个的工序；以及在除去所述硬质掩模而形成的开口部形成剩下的彩色滤光片成分的工序；并且，所述第二颜色滤光片成分和所述第三颜色滤光片成分的各自周围形成被所述第一颜色滤光片成分包围的彩色滤光片。