具有视觉校正及/或追踪的激光加工系统和方法

摘要

可在激光加工系统及方法中使用视觉校正及追踪系统(vision correction and tracking system)，以提高加工的精确度。所述激光加工系统(laser machining system)及方法可用于在例如太阳能面板(solar panel)等大的平整工件(workpiece)中划刻一或多条线。具体而言，激光加工系统及方法可用于以高精确度、高速度及低成本在薄膜光电(photovoltaic；PV)太阳能面板中划刻出线。所述视觉校正及/或追踪系统可用于根据所检测到的划刻线的参数及/或工件的变化而提供划刻线对齐和均匀性。

主权项

一种激光加工系统，包含：部件运送系统，包含工件支撑面，用以支撑欲加工的工件；至少一个激光源，用以产生至少一个激光束；至少一个激光扫描平台，相对于所述部件运送系统定位，以沿扫描轴线进行线性运动；可移动光学头，位于所述激光扫描平台上，所述光学头包含光束传输系统，用以接收所述至少一个激光束、修改所述至少一个激光束、以及在移动的同时在所述工件处引导所述经修改光束，以加工所述工件；以及工件追踪系统，用以追踪所述工件中相对于所述移动光学头的变化，并响应于所述工件中的所述变化而调整所述经修改光束的至少一个参数。