发明名称 |
磨片机循环再生砂的过滤装置及方法 |
摘要 |
本发明涉及磨片机循环再生砂的过滤装置及方法,利用过滤装置过滤出能满足生产要求的循环再生砂,循环砂经过循环泵抽取砂浆,进入过滤器,自上而下地过滤,由于过滤层的砂浆逐渐增加,使过滤层自身压力增大,过滤出小颗粒的砂浆,截留住大颗粒金刚砂,砂浆源源不断地冲击过滤层,过滤出一定范围粒径的循环砂,利用循环再生砂袋代替新沙来加工产品,不仅可以最大化地利用辅料、降低加工成本,而且同时保证硅片产品的品质。 |
申请公布号 |
CN102059016B |
申请公布日期 |
2011.11.16 |
申请号 |
CN201010585222.6 |
申请日期 |
2010.12.13 |
申请人 |
天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
发明人 |
靳立辉;李海龙;刘铮;杨凤艳;王聚安;高树良;李翔;沈浩平 |
分类号 |
B01D29/27(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I |
主分类号 |
B01D29/27(2006.01)I |
代理机构 |
天津中环专利商标代理有限公司 12105 |
代理人 |
莫琪 |
主权项 |
磨片机循环再生砂的过滤装置,其特征在于,包括两个结构相同的砂浆桶(3)和两个结构相同的过滤器(2);所述砂浆桶(3)主体为圆柱形容器,内安装一个立式液下泵(5)和一个搅拌泵(4);所述砂浆桶(3)底部设有进砂口(31)和回砂口(32);所述砂浆桶(3)内部设有水冷系统;水冷系统包括进水口和出水口;所述过滤器(2)主体为圆柱形压力容器,顶部设有压力栓(27),过滤器(2)内腔设有过滤层,过滤层为一袋型滤网(26);所述过滤器(2)内壁上部安装特制卡夹(21);所述特制卡夹(21)是由两片形状相同的同心铁环组成,特制卡夹(21)的外环安装固定在过滤器(2)内壁上,其外环内径与内环外径相配合,滤网(26)的上口被紧夹在特制卡夹(21)内环和外环之间;与压力容器内壁相连通的过滤器进浆管(22)设在滤网(26)的上方;与压力容器内壁相连通的过滤器出浆管(24)设在滤网(26)的下方;所述过滤器(2)的主体压力容器内腔底部设有5cm高的隔离层(25),隔离层(25)上分布有4个减压孔,4个减压孔是透孔,与隔离层相通;所述立式液下泵(5)的泵口(51)通过砂浆管道连接过滤器(2)的过滤器进浆管(22);过滤器(2)的过滤器出浆管(24)通过砂浆管道经三通构成分支管道,分支管道分别连接磨片机(1)的砂浆进口和砂浆桶底部的进砂口(31);磨片机(1)的砂浆出口通过砂浆管道经三通分别连接两个砂浆桶底部的回砂口(32);形成砂浆循环回路。 |
地址 |
300384 天津市南开区华苑产业园区(环外)海泰东路12号 |