一种ITO靶材背面金属化的方法

摘要

本发明涉及的是液晶显示、太阳能电池制造等行业中所需的ITO靶的制造，尤其涉及ITO靶材背面金属化的方法。本发明的目的，是通过将ITO靶材需要进行背面金属化的地方浸没至电解液中作为阴极进行电解来实现的。本发明的方法简单，仅需要电解的方法就能使ITO靶材背面金属化，然后通过钎焊实现ITO靶材组件的生产，整个过程中不会引入镍、铜、银等金属离子，既简化了ITO靶材背板焊接工艺，也有利于ITO废靶的回收。

主权项

一种ITO靶材背面金属化的方法，所述方法如下：首先将需要进行背面金属化的ITO靶材用酒精或丙酮或去离子水清洗干净；其次，将ITO靶材需要进行背面金属化的地方浸没至电解液中，连接阴极导电块，作为阴极进行电解；在充有电解质溶液的电解槽中，设有阳极，以不锈钢或石墨作为阳极；再固定两个非导电支架，将ITO靶材需要进行背面金属化的那面放入电解质溶液中，置于非导电支架上，并使电解质溶液浸没靶材厚度的一半左右；再连接阴极导电块，使其作为阴极；ITO靶材侧面则进行绝缘化处理，然后通电进行电解；所述电解液电阻率范围是：0.01～1MΩ·cm；电解时，阴极电流密度范围是：0.1～500A/dm2；电解时间为：0.5～90min；所述电解液选自NaCl、NaNO3、KCl、NH4Cl、NH4NO3、KNO3的水溶液及其组合。