带有阻尼套的单晶晶体生长炉

摘要

本实用新型涉及单晶硅领域，尤其涉及一种单晶晶体生长炉。一种带有阻尼套的单晶晶体生长炉，包括安装在籽晶腔体内的绳轮，绳轮表面开有绳槽，籽晶绳绕在绳轮上卡在绳槽内，籽晶腔体底部开有绳孔，该单晶晶体生长炉还包括阻尼套，所述的阻尼套安装在绳孔内，阻尼套由聚四氟乙烯制成，阻尼套中心开通孔，籽晶绳穿出通孔。本实用新型带有阻尼套的单晶晶体生长炉中的阻尼套由聚四氟乙烯制成，不会磨坏价格昂贵的籽晶绳，提高了籽晶绳的使用寿命；另外，在硅单晶生长作业过程中，阻尼套可降低籽晶对中难度，减少籽晶绳的摆动，提高晶棒的精度，解决了晶棒扭曲现象，提高了产品质量。

主权项

一种带有阻尼套的单晶晶体生长炉，包括安装在籽晶腔体(1)内的绳轮(2)，绳轮(2)表面开有绳槽，籽晶绳(3)绕在绳轮(2)上卡在绳槽内，籽晶腔体(1)底部开有绳孔(5)，其特征是：该单晶晶体生长炉还包括阻尼套(4)，所述的阻尼套(4) 安装在绳孔(5)内，阻尼套(4)由聚四氟乙烯制成，阻尼套(4)中心开通孔，籽晶绳(3)穿出通孔。