清洗装置

摘要

一种玻璃光学元件等的清洗对象进行清洗的清洗装置，设有：将清洗对象保持于清洗夹具上并利用清洗剂进行清洗的清洗槽、向该清洗槽内供给清洗剂的供给通道、以及从上述清洗槽回收上述清洗剂的回收通道，上述清洗槽设有：从底部侧排出上述清洗剂的第一排液部、从顶端部侧排出上述清洗剂的第二排液部、以及设置于上述第一排液部与上述第二排液部之间的高度上的清洗剂供给部；上述第一和第二排液部连接于上述回收通道，同时，上述清洗剂供给部连接于上述供给通道；通过这样的构成，由于能够将悬浮、残留于清洗剂中的颗粒不论比重大小地确实地排出至清洗槽的外部，因此，不会发生颗粒再附着于清洗对象上的情况，从而能够得到清洗对象的出色的外观质量。

主权项

一种清洗装置，设有：将清洗对象保持于清洗夹具上并利用清洗剂进行清洗的清洗槽，向该清洗槽内供给清洗剂的供给通道，以及从所述清洗槽回收所述清洗剂的回收通道，其特征在于，所述清洗槽设有：从底部侧排出所述清洗剂的第一排液部，从顶端部侧排出所述清洗剂的第二排液部，以及设置于所述第一排液部与所述第二排液部之间的高度上的清洗剂供给部；所述第一和第二排液部连接于所述回收通道，同时，所述清洗剂供给部连接于所述供给通道。