发明名称 Drift Block System and Sawing Apparatus of Single Crystal including the same
摘要
申请公布号 KR101083481(B1) 申请公布日期 2011.11.16
申请号 KR20100018480 申请日期 2010.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
地址