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发明名称
Drift Block System and Sawing Apparatus of Single Crystal including the same
摘要
申请公布号
KR101083481(B1)
申请公布日期
2011.11.16
申请号
KR20100018480
申请日期
2010.03.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/301
主分类号
H01L21/301
代理机构
代理人
主权项
地址
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