一种硅片承载装置

摘要

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其是一种用于承载硅片的中转篮。该装置的顶部和其中一个侧壁呈开口，用于硅片的放入和取出。硅片承载装置包括两块侧板、一块底板和一根拉杆，其中两侧板的底部分别与底板连接，两侧板的一端与拉杆相连接。通过本实用新型提供的硅片承载装置，能够将脱胶后的硅片集中化管理，可有效避免硅片破片、混片的现象发生。

主权项

一种硅片承载装置，用于硅片（4）的放入和取出，其特征在于：所述的承载装置包括两块侧板（1）、一块底板（2）和一根拉杆（3），两块侧板（1）的底部分别与底板（2）连接，两块侧板（1）的一侧通过拉杆（3）相连接。