| 发明名称 | 一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构及方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构及方法，其特征在于：包括抑制横向扩散用环形槽、正面对通隔离扩散区和背面对通隔离扩散区，所述正面对通隔离扩散区内侧设有抑制横向扩散用环形槽，所述抑制横向扩散用环形槽一侧设有环形钝化槽。本发明的优点是：采用了抑制横向扩散用环形槽的方式，降低了对通隔离扩散过程中形成的横向扩散宽度，有效降低了横向扩散宽度对VRRM电压特性的影响，提高了击穿电压及产品良率；同时采用正面对通隔离扩散区环宽窄、背面对通隔离扩散区环宽宽的结构，提高了背对通隔离扩散速度，扩散时间比原来减少了15-20h。 | ||
| 申请公布号 | CN102244093A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN201110213223.2 | 申请日期 | 2011.07.28 |
| 申请人 | 启东市捷捷微电子有限公司 | 发明人 | 黎重林;王成森 |
| 分类号 | H01L29/06(2006.01)I;H01L29/74(2006.01)I;H01L21/332(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人 | 卢海洋 |
| 主权项 | 一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构，其特征在于：包括抑制横向扩散用环形槽、正面对通隔离扩散区和背面对通隔离扩散区，所述正面对通隔离扩散区内侧设有抑制横向扩散用环形槽，所述抑制横向扩散用环形槽一侧设有环形钝化槽。 | ||
| 地址 | 226200 江苏省南通市启东市经济开发区城北工业园兴龙路8号 | ||