被处理体的输送方法和被处理体的输送装置

摘要

本发明提供一种被处理体的输送方法和被处理体的输送装置，其能够简单且快速地输送未被检测到异常的被处理体。被收纳于晶圆舟皿的半导体晶圆有异常时(步骤S2：Yes)，确定异常位置和异常的种类(步骤S3)，决定跳过位置(步骤S4)。随后，跳过被收容于跳过位置的半导体晶圆的回收，实施未被检测到异常的半导体晶圆(W)的自动回收(步骤S5)。然后，晶圆舟皿中残存有半导体晶圆(步骤S6：Yes)，且有能够自动回收的半导体晶圆时(步骤S7：Yes)，则实施能够自动回收的半导体晶圆的自动回收(步骤S8)。然后，实施所残存的半导体晶圆的手动回收(步骤S10)。

主权项

一种被处理体的输送方法，其特征在于，其包括：异常判别工序，根据来自被配置于处理装置的传感器的信息，判别被收纳于该处理装置的被处理体是否有异常；异常确定工序，对在上述异常判别工序中被判别为有异常的被处理体的收容位置和异常的种类进行确定；跳过位置决定工序，根据在上述异常确定工序中被确定的被处理体的收容位置和异常的种类来决定跳过位置；自动输送工序，跳过被收容于在上述跳过位置决定工序中被决定的跳过位置的被处理体的输送，自动输送未被检测到异常的被处理体。