| 发明名称 | 基板定位装置、基板处理装置和基板定位方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能相对于旋转轴线准确定位圆形基板中心的基板定位装置、基板处理装置和基板定位方法。本发明提供如下基板定位装置以解决以上课题。该基板定位装置用于对基板进行定位，包括：基板装载部；具有与上述基板的侧面接触的第1基准部的第1定位机构部；具有与上述基板的侧面接触的第2基准部的第2定位机构部；用于驱动上述第1定位机构部的第1驱动部；用于控制上述第1定位机构部的驱动的控制部，上述第2基准部在接触部与上述基板接触，该第2基准部具有能够在上述第1驱动部的移动方向上对上述接触部施加力的弹性部、和用于检测上述第2定位机构部的位置信息的检测部。 | ||
| 申请公布号 | CN102244026A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN201110125137.6 | 申请日期 | 2011.05.12 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 天野嘉文 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种基板定位装置，其用于对基板进行定位，其特征在于，包括：基板装载部；具有与上述基板的侧面接触的第1基准部的第1定位机构部；具有与上述基板的侧面接触的第2基准部的第2定位机构部；用于驱动上述第1定位机构部的第1驱动部；用于控制上述第1驱动部的控制部，上述第2基准部在接触部与上述基板接触，该第2基准部具有能够在上述第1驱动部的移动方向上对上述接触部施加力的弹性部、和用于检测上述第2定位机构部的位置信息的检测部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||