| 摘要 |
<p>수직으로 세워진 2장의 기판을 수용하여 동시에 증착할 수 있도록 가스를 분사하는 가스분사 유닛 및 이를 구비하는 직립방식 증착장치가 개시된다. 직립방식 증착장치용 가스분사 유닛은, 직립으로 세워진 기판에 대해 소스가스를 분사하도록 상기 기판에 대응되는 길이를 갖는 로드 형태를 갖고, 외주면에 소스가스를 분사하는 분사부가 형성되며, 그 중심을 회전축으로 하여 자전함에 따라 상기 기판에 복수의 소스가스를 교번적으로 분사하는 복수의 스핀 노즐, 상기 스핀 노즐을 수용하는 하우징 및 상기 하우징에서 상기 스핀 노즐 사이에 구비되어 배기가스를 흡입하는 이너 배기부를 포함하여 구성될 수 있다.</p> |
