发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR NASSCHEMISCHES PROZESSIEREN FLACHER, DÜNNER SUBSTRATE IM DURCHLAUFVERFAHREN
摘要 <p>Continuous wet chemical processing (cleaning, etching, stripping, coating or drying) of flat, thin, fragile substrates comprises transporting and processing the substrates using absorbent rollers.</p>
申请公布号 AT532207(T) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 AT20060829090T 申请日期 2006.11.22
申请人 ACP-ADVANCED CLEAN PRODUCTION GMBH 发明人 KUNZE-CONCEWITZ, HORST
分类号 H01L21/00;B08B1/02;B08B1/04;B08B3/04 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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