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发明名称 VERFAHREN ZUM AUFTRENNEN EINES HALBLEITERWAFERS IN INDIVIDUELLE HALBLEITERCHIPS UNTER VERWENDUNG EINER IMPLANTIERTEN STÖRSTELLE
摘要
申请公布号 AT531079(T) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 AT20070797548T 申请日期 2007.05.17
申请人 AGERE SYSTEMS, INC. 发明人 HARRIS, EDWARD;STEINER, KURT
分类号 H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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