发明名称 A SUBSTRATE TABLE, A LITHOGRAPHIC APPARATUS, A METHOD OF FLATTENING AN EDGE OF A SUBSTRATE AND A DEVICE MANUFACTURING METHOD.
摘要
申请公布号 NL2006536(A) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 NL20112006536 申请日期 2011.04.04
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 LAFARRE, RAYMOND;ROSET, NIEK;HOUBEN, MARTIJN
分类号 G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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