发明名称 BELASTUNGSFREIES ZUSAMMENGESETZTES SUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN ZUSAMMENGESETZTEN SUBSTRATS
摘要
申请公布号 AT531077(T) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 AT20030772538T 申请日期 2003.11.20
申请人 NXP B.V. 发明人 HAISMA, JAN
分类号 H01L21/762;H01L21/20 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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