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发明名称
BELASTUNGSFREIES ZUSAMMENGESETZTES SUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN ZUSAMMENGESETZTEN SUBSTRATS
摘要
申请公布号
AT531077(T)
申请公布日期
2011.11.15
申请号
AT20030772538T
申请日期
2003.11.20
申请人
NXP B.V.
发明人
HAISMA, JAN
分类号
H01L21/762;H01L21/20
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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