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发明名称 SPUTTERSYSTEM
摘要
申请公布号 AT530679(T) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 AT20080807390T 申请日期 2008.08.21
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 HENNINGER, GEORG;HUNSCHE, BERNO;SELL, KONRAD;RUSKE, MANFRED;DIEDERICH, THOMAS
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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