发明名称 Preparation method of cadmium telluride thin film for solar cell using continuous flow reaction process
摘要 <p>본 발명은 연속흐름반응법(CFR)을 이용한 태양전지용 CdTe 박막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (i) 소듐 텔루라이트 및 하이드라진 수화물로 이루어진 제1용액을 준비하는 단계; (ii) 염화카드뮴 수화물 및 염화암모늄로 이루어진 제2용액을 준비하는 단계; (iii) 제1용액 및 제2용액을 혼합한 후, 혼합물을 기판 상에 증착시키는 단계; 및 (iv) 증착된 박막을 질소 분위기 하에서 열처리하는 단계를 포함하여 이루어지는, 연속흐름반응법을 이용한 태양전지용 CdTe 박막의 제조방법에 관한 것이다.</p>
申请公布号 KR101083847(B1) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 KR20090107656 申请日期 2009.11.09
申请人 发明人
分类号 H01L31/0445;H01L31/0224;H01L31/042;H01L31/073 主分类号 H01L31/0445
代理机构 代理人
主权项
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