| 发明名称 |
OBERFLÄCHENEMISSIONS-ELEKTRONENQUELLE UND ZEICHNUNGSEINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT531067(T) |
申请公布日期 |
2011.11.15 |
| 申请号 |
AT20080740791T |
申请日期 |
2008.04.23 |
| 申请人 |
CRESTEC CORPORATION |
发明人 |
KOJIMA, AKIRA;OHYI, HIDEYUKI |
| 分类号 |
H01J1/312;H01J3/14;H01J37/073;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J1/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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