发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN METALLISCHER BESCHICHTUNGEN AUS FLÜSSIGEN LÖSUNGEN MITTELS EINES KALTEN PLASMAS
摘要
申请公布号 AT529542(T) 申请公布日期 2011.11.15
申请号 AT20020258609T 申请日期 2002.12.13
申请人 AMT HOLDINGS, INC. 发明人 CONOVER, STEPHEN P.;SHARMA, ASHOK K.
分类号 C23C18/14 主分类号 C23C18/14
代理机构 代理人
主权项
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