| 发明名称 |
COMPOSITION FOR FORMING ANTIREFLECTION FILM, LAMINATE, AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN |
| 摘要 |
<p>[R및 R는 수소 원자, 불소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, m은 1 내지 20의 정수이고, A는 2가의 결합수를 나타낸다.]</p> |
| 申请公布号 |
KR101082695(B1) |
申请公布日期 |
2011.11.15 |
| 申请号 |
KR20060024222 |
申请日期 |
2006.03.16 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/004;G03F7/033;G03F7/11;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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