METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM

摘要

이와 같은 본 발명은, 공정 준비시에는 메인 배기부를 이용한 하방 배기 방식을 통해 챔버 내부를 신속하게 배기함으로써 공정 준비 시간을 단축할 수 있으며, 박막 공정시에는 서브 배기부를 이용한 측방 배기 방식을 통해 기판 표면에 균일한 가스 흐름을 형성함으로써 박막 균일도를 향상시킬 수 있다.