| 发明名称 |
具有一辅助电极之不可溶阳极 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI352133 |
申请公布日期 |
2011.11.11 |
| 申请号 |
TW093128333 |
申请日期 |
2004.09.17 |
| 申请人 |
應用材料股份有限公司 美國 |
发明人 |
尼可列Ｙ 蔻尔法司基;度明奇 鲁保门司基;依弗京尼 罗宾欧维奇 |
| 分类号 |
C25D17/10 |
主分类号 |
C25D17/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种电化学之电镀单元，包括：一液体容槽，系用以容置一电镀液；一阳极液体容置空间，系位于该液体容槽之较低部分；一阴极液体容置空间，系位于该液体容槽之较高部分；一离子薄膜，经配置以分隔该阳极液体容置空间与该阴极液体容置空间；一电镀电极，其系置于该阳极液体容置空间之中央；以及一反电镀电极，其系位于该阳极液体容置空间之中，并在该电镀电极的径向外侧，其中该电镀电极包括一盘状元件，该盘状元件具有复数个通过其间形成之平行孔槽，该复数个平行孔槽包括复数个较长部分与复数个较短部分。 |
| 地址 |
美国 |
