| 主权项 |
一种半导体装置分类设备，系包含：一板材装载器，系用于装载复数个板材，所述各板材上装载有多个半导体装置；以及一分类单元，系用于对安装于该板材装载器之一侧的该等半导体装置进行分类，其中该分类单元具有一X-Y工作台，该X-Y工作台系用以从该板材装载器接收位于该板材装载器上之板材，其中，该分类单元系包含一板材装载装置，该板材装载装置系用于在该X-Y工作台与该板材装载器之间交换板材，进而该分类单元系用于在取出并向X-Y工作台传送该板材装载器上所装载之板材的同时，从该X-Y工作台将经过分类之板材送回至该板材装载器。 |
