发明名称 矽晶块夹具载台
摘要
申请公布号 TWM416195 申请公布日期 2011.11.11
申请号 TW100210030 申请日期 2011.06.02
申请人 威全機械工業股份有限公司 臺中市北屯區后庄路1008號 发明人 林成翰
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人 林殷世 台中市西区公益路367号16楼之2;黄仕勋 台中市西区公益路367号16楼之2
主权项 一种矽晶块夹具载台,其包括:一个本体,具有一个第一面与一个第二面,该第一面与该第二面分别位于该本体相反的一端,该本体由该第一面延伸至该第二面穿设两个第一导孔;一个纵向固定装置,该纵向固定装置组设于该本体,该纵向固定装置具有一个支撑架、一个连动件与一个定位件,该支撑架组设于该本体,该连动件枢接于该支撑架,该连动件一端组设一个卡勾件,该定位件组设于该本体相反该支撑架的一面,该定位件组设一个勾扣件;两个导柱,该两导柱分别穿设该本体之第一导孔;两个横向固定装置,该横向固定装置穿设两个第二导孔,该横向固定装置之两第二导孔与该本体之两第一导孔相对应,该横向固定装置之两第二导孔穿设该两导柱,该横向固定装置横向穿设一个定位螺孔,该定位螺孔与该第二导孔相连通,该定位螺孔与一个定位螺件螺合,该定位螺件能够藉由与该定位螺孔的螺合选择性抵顶该导柱,该横向固定装置两端分别纵向延伸形成一个夹持部,该两夹持部穿设数个夹持螺孔,夹持螺孔分别螺合数个夹持调整件,该夹持调整件一端设有一个夹持垫;该两导柱分别穿设该本体之第一导孔与该横向固定装置之第二导孔,该横向固定装置分别夹持于矽晶块之侧边,藉由该夹持调整件与该夹持螺孔的螺合来调整该夹持调整件与矽晶块的相对距离,该夹持部之夹持垫顶靠于矽晶块,该横向固定装置提供矽晶块横向定位的功能;该纵向固定装置能够在第一状态与第二状态之间变换,当该纵向固定装置位于第一状态时,该连动件之卡勾件卡勾于该勾扣件内,使矽晶块位于该连动件与该本体及该两横向固定装置之间,使该纵向固定装置提供矽晶块纵向定位的功能,并进行矽晶块的切割,使用者能够纵向拉抬该连动件,使该勾扣件相对该定位件枢转,该连动件之卡勾件脱离该勾扣件,此时该连动件能够相对该支撑架枢转,使该纵向固定装置位于第二状态。
地址 台中市北屯区后庄路1008号