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发明名称 用于制造鳍状场效电晶体之系统以及方法
摘要
申请公布号 TWI352394 申请公布日期 2011.11.11
申请号 TW096130937 申请日期 2007.08.21
申请人 美光科技公司 美國 发明人 山恩Ｄ　谭;高登　哈勒
分类号 H01L21/336;H01L21/8242 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种制造包含一鳍状件(176)及一闸极(180)之电晶体的方法，该方法包含：(112)执行一第一蚀刻以建立该鳍状件(176)之一第一壁，而不使用一微影蚀刻遮罩；(112)执行一第二蚀刻以建立该鳍状件(176)之一第二壁，及；(118)在该鳍状件(176)上沈积一闸极(180)，其中该闸极(180)系在该第二蚀刻后予以沈积。
地址 美国
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