气体分流装置

主权项

一种气体分流装置，其包含有：至少一个缓冲气室，为一气体入口，一气体出口之结构；一放电气室，与该缓冲气室之气体出口相连结；复数个电极，设于放电气室两侧，其中一对电极与电压源相串连，且复数个电极分别由绝缘体所包覆着；一多孔性物质，置于该缓冲气室之气体入口侧，藉由该多孔性物质以达均匀化气体之目的。