在光罩上产生模糊的装置

主权项

一种在光罩上产生模糊的装置，包括：雷射发射单元，发射雷射束；衰减器，控制所述雷射束的能量强度；光学系统，处理所述雷射束使得所述雷射束具有预定的形状和能量分布；处理室，具有安装于所述处理室上部并由透明材质形成的窗口以及形成于所述处理室中的空间，所述雷射束通过所述窗口，所述空间设置光罩并填充处理气体，所述空间与外界隔离；以及衰减器控制单元，基于入射到所述窗口的所述雷射束的入射能量强度来控制所述衰减器，使得将具有预定参考能量强度的所述雷射束照射到所述光罩上。