| 摘要 |
<p>마스크 모재에 손상을 주지 않고 디포지션막의 세정제거가 가능하고, 세정작업성에도 뛰어난 막형성용 마스크를 제공한다. 본 발명의 막형성용 마스크(11)는 기판(W)의 막형성면에 대향 배치되고 막형성 영역을 제한하는 개구부(20)가 형성된 마스크 본체(2)와, 이 마스크 본체(2) 표면의 소정 영역을 피복하는구비하고, 이 커버부재(3)는 마스크 본체(2)에 대하여취부된 복수의 커버 분할편(3A∼3C) 집합체로 구성되어 있다. 마스크 본체(2) 표면의 소정 영역을 커버부재(3)로 피복하는 것에 의해, 마스크 본체(2)로의 디포지션막의 부착을 억제하고, 마스크 세정시에 있어 마스크 모재의 데미지를 막는다. 커버부재(3)에 부착된 디포지션막의 제거는, 개개의 커버 분할편(3A∼3C)에 여러 쪽으로 나누어진 상태로 행하는 것이 가능하므로, 세정작업이 간편하게 되고, 마스크의 대형화에도 용이하게 대응할 수 있도록 된다.</p> |
