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<p>Ein Kollektor (15) dient zur Überführung einer Emission einer EUV-Strahlungsquelle (3) in einen Haupt-Brennfleck (23). Der Kollektor (15) hat zumindest eine Kollektor-Untereinheit (24) mit mindestens einem Spiegel (251 bis 254) für streifenden Einfall. Dieser überführt EUV-Strahlung (14) von der Strahlungsquelle (3) hin zu einem Brennfleck (23). Mindestens ein Ellipsoid-Spiegel (28) mit ellipsoidaler Spiegelfläche (29) des Kollektors (15) wird mit einem Einfallswinkel oberhalb eines Grenzwinkels für streifenden Einfall beaufschlagt. Im Strahlengang eines von der EUV-Strahlungsquelle (3) zwischen einer Position der EUV-Strahlungsquelle (3) und dem Brennfleck (23) ist höchstens eine einzige Kollektor-Untereinheit (24) angeordnet. Bei einer weiteren Ausgestaltung des EUV-Kollektors hat eine der Kollektor-Untereinheiten mindestens eine Spiegelschale für streifenden Einfall, deren Außenwand zur Reflexion der EUV-Strahlung genutzt wird. Eine weitere der Kollektor-Untereinheiten hat mindestens eine Spiegelschale für streifenden Einfall, deren Innenwand zur Reflexion der EUV-Strahlung genutzt wird. Es resultiert ein EUV-Kollektor, bei dem bei gegebenem konstruktivem Aufwand der erfassbare Raumwinkel der EUV-Strahlungsquelle optimal gestaltet ist.</p> |
