| 摘要 |
<p>【課題】小型化・高精度化を図り、かつ操作が容易な画像位置決め測定装置を提供する。【解決手段】顕微鏡２、オートフォーカスユニット４、門型のステージ計測ユニット、パソコン、防振台、直動用基準スケール、直動用基準スケール治具７、回転用基準スケール、回転用基準スケール治具で構成する。使用時には、計測したい製品を門型のステージ計測ユニットに載置し、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置く。ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行ない、基準スケールに記載されている目盛線のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決める。それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定する。【選択図】図１</p> |
