| 发明名称 |
METHOD FOR SPARK DEPOSITION USING CERAMIC TARGETS |
| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Lichtbogen-Verdampfungsquelle mit elektrisch leitender keramischer Targetplatte (1), an deren Rückseite eine Kühlplatte (10) vorgesehen ist wobei an der zu verdampfenden Oberfläche (2) im Zentralbereich eine Abschirmung (3) vorgesehen ist so dass beim Betreiben der Verdampfungsquelle der Kathodenfleck des Lichtbogens nicht in den Zentralbereich (6) der Oberfläche gelangt.</p> |
| 申请公布号 |
WO2011137967(A1) |
申请公布日期 |
2011.11.10 |
| 申请号 |
WO2011EP01856 |
申请日期 |
2011.04.13 |
| 申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH;LECHTHALER, MARKUS |
发明人 |
LECHTHALER, MARKUS |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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