Eine mikrowellenangeregte Plasma Quelle linearer Art, welche einen geschlitzten, rechteckigen Wellenleiter als Plasma Erreger benutzt

摘要

Eine mikrowellenangeregte Plasmaquelle linearer Art umfasst im Wesentlichen eine Reaktionskammer, einen rechteckigen Wellenleiter und einen linearen seitlichen Schlitz dazwischen. Eine lineare Quarzplatte mit einem O-Ring, welche in den seitlichen Schlitz eingebettet ist, ist erforderlich, um die Reaktionskammer in einem Niederdruck-Zustand zu halten. Plasma wird in der Reaktionskammer durch Mikrowellen-Einsgeiser angeregt werden, welche von dem seitlichen Schlitz ausstrahlen. Ein linearartiges bewegliches dielektrisches Material kann in dem Wellenleiter positioniert sein, um die Strahlungsintensität der Mikrowellen zu kontrollieren, so dass es möglich ist, die Länge der Plasmaquelle linearer Art auszudehnen, ohne die Mikrowelleneingangsleistungen zu erhöhen und somit können großflächige, wirtschaftlich günstige Plasmabildungs-Anwendungen implementiert werden.