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System zum Entfernen von Fremdpartikeln von einer Halbleitervorrichtung mit: einer Vibrationseinrichtung (11) zum in Schwingung versetzen der Halbleitervorrichtung (20), um die Fremdpartikel von einer Oberfläche der Halbleitervorrichtung (20) abzutrennen; einer Saugeinrichtung (12) zum Absaugen der Fremdpartikel, die von der Halbleitervorrichtung (20) durch die Vibrationseinrichtung (11) abgetrennt worden sind, mit einem Unterdruckkanal (13a), der durch ein Ansaugventil (15) mit der Absaugpumpe (16) verbunden ist; und einer Absaugpumpe (16), dadurch gekennzeichnet, dass die Absaugpumpe (16) zwischen der Vibrationseinrichtung (11) und der Halbleitervorrichtung (20), und zwischen der Saugeinrichtung (12) und der Halbleitervorrichtung (20), umschaltbar einen Unterdruck erzeugt; die Saugeinrichtung (12) ferner einen Verbindungskanal (13b), der mit einer Frischluftquelle verbunden ist, aufweist und einen Raum (23) dadurch definiert, dass die Halbleitervorrichtung (20), welche an der Innenseite eines Dichtungsgehäuses (22) angebracht ist, der Verbindungskanal (13b) und der Unterdruckkanal (13a) abgedeckt sind, um von dem Verbindungskanal (13b) durch den Raum...
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