Verfahren zur Bestimmung der Topographie einer Oberfläche eines Objekts

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur eindeutigen und referenzfreien Bestimmung der Topographie einer Oberfläche eines Objekts, bei der mit einem kollimierten Lichtstrahl ein Muster auf die Oberfläche projiziert und eine Intensitätsverteilung des reflektierten Lichtbündels in einer Ebene erfasst wird, die einen Abstand zur Oberfläche aufweist. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass mindestens ein weiteres Bild der Intensitätsverteilung des reflektierten Objekts in einem zweiten Abstand oder bei einem veränderten Neigungswinkel der Oberfläche zur Ebene erfasst wird. Aus dem Vergleich der beiden Bilder wird dann unter Berücksichtigung der unterschiedlichen Abstände bzw. Neigungswinkel die Topographie der Oberfläche berechnet. Das Verfahren kommt ohne eine Referenzoberfläche und die damit verbundenen Justageprobleme aus und lässt sich mit geringem Zeit- und Kostenaufwand durchführen.