| 发明名称 | 等离子体反应器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及等离子体反应器，其包括真空容器，到所述真空容器的进气口装置，在所述真空容器中产生等离子体的等离子体装置，所述真空容器内的基底保持器以及排气装置，所述排气装置邻近所述真空容器的壁用于使气体从所述真空容器除去，并且所述排气装置与所述进气口装置并与所述基底保持器隔开一段距离，所述排气装置包括穿过所述壁的至少一个排出口以及至少一个气流转向器本体，其设计用于使将从所述真空容器除去的所述气体流的至少一部分在进入所述排出口之前转向。 | ||
| 申请公布号 | CN102237247A | 申请公布日期 | 2011.11.09 |
| 申请号 | CN201110115254.4 | 申请日期 | 2011.05.05 |
| 申请人 | 欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫） | 发明人 | A·萨拉巴斯;A·A·H·塔哈;D·乔达里;M·克林德沃特;C·埃勒特 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 薛峰;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种等离子体反应器，其包括真空容器，到所述真空容器的进气口装置，在所述真空容器中产生等离子体的等离子体装置，所述真空容器内的基底保持器以及排气装置，所述排气装置邻近所述真空容器的壁用于使气体从所述真空容器除去，并且所述排气装置与所述进气口装置并与所述基底保持器隔开一段距离，所述排气装置包括穿过所述壁的至少一个排出口以及至少一个气流转向器本体，其设计用于使将从所述真空容器除去的所述气体流的至少一部分在进入所述排出口之前转向。 | ||
| 地址 | 瑞士特吕巴赫 | ||