组合式晶片储存盒的储存机台

摘要

一种组合式晶片储存盒的储存机台，其中晶片放置在晶片储存盒内，而储存机台设于一晶片制造室中，基本上由两行晶片储存模块、一滑动空间以及一机械手臂所组成，滑动空间设于晶片储存模块之间，机械手臂于滑动空间中移动以抓取晶片储存盒。因而，机械手臂可快速地于滑动空间中移动，并且快速地存取设于两侧的晶片储存模块，故机械手臂在移动晶片时，不会发生搬运堵塞的问题，提高存取效率。

主权项

一种组合式晶片储存机台，设于一晶片制造室中，由两行晶片储存模块、一滑动空间以及一机械手臂所组成；其中，该滑动空间设于所述晶片储存模块之间；以及该机械手臂于该滑动空间中移动以抓取该晶片；所述晶片储存模块包括一暂存输出端口，用以暂存一待输出晶片，该机械手臂还用于直接移动至暂存输出端口抓取待输出晶片放置于输出及输入端口。