确定光刻机的最佳焦距的方法

摘要

本发明提供一种确定光刻机的最佳焦距的方法，包括如下步骤：提供具有测试标记的掩膜板，所述测试标记包括不对称的且具有尖锐结构的第二测试标记；将所述测试标记转移到基底上；测试不同焦距下光刻机的套刻偏移量值；找出最小的套刻偏移量值，则其对应的焦距即为光刻机的最佳焦距。本发明通过将测试标记设计为尖锐的不对称结构，仅需采用套刻测试设备在不同焦距下检测测试标记的套刻偏移量值，然后比较找出最小的焦距偏移量，就可确定光刻机的最佳焦距，步骤简单，可较大幅度提高光刻机的最佳焦距检测效率；而且本发明的测试标记采用了尖锐的不对称结构，光刻机对此比较灵敏，可更好地提高焦距测试结果的准确率。

主权项

一种确定光刻机的最佳焦距的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：提供具有测试标记的掩膜板，所述测试标记包括不对称的且具有尖锐结构的第二测试标记；将所述测试标记转移到基底上；测试不同焦距下光刻机的套刻偏移量值；找出最小的套刻偏移量值，则其对应的焦距即为光刻机的最佳焦距。