| 发明名称 |
Multistage proof-mass movement deceleration within MEMS structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2146182(B1) |
申请公布日期 |
2011.11.09 |
| 申请号 |
EP20090163425 |
申请日期 |
2009.06.22 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
GLENN, MAX |
| 分类号 |
G01C19/56;B81B7/00;G01P15/125 |
主分类号 |
G01C19/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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