- METHOD AND SYSTEM FOR OPTICAL INSPECTION OF PATTERNED AND NON-PATTERNED OBJECTS
摘要
<p>패터닝된 대상물 및 비패터닝된 대상물에 관한 광학 검사 시스템 및 방법이 개시된다. 본 방법은 대상물로부터 반사되는 빛의 편광상태를 결정하는 단계, 입사광의 편광 상태를 설정하는 단계, 및 검출기에 의해 검출되는 광학 신호를 제공하도록 편광에 의해 반사되는 빛을 필터링하는 단계를 포함한다.</p>
