| 发明名称 | 用于存储和传送大基板的密闭垂直支架 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于存储和传送大基板的密闭垂直支架。该密闭垂直支架包括可移动基座、在可移动基座上用于容纳基板的外壳、在外壳中用于接收基板的对准工具、和用于密封外壳的可密封门。该外壳具有气体入口且该外壳或门具有气体出口。 | ||
| 申请公布号 | CN102237290A | 申请公布日期 | 2011.11.09 |
| 申请号 | CN201110104055.3 | 申请日期 | 2011.04.20 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 詹姆斯·兰德斯;潘查拉·N·坎卡纳拉;杰弗里·S·沙利文;彼得·兰纳 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;钟强 |
| 主权项 | 一种用于存储和传输大基板的密闭垂直支架，所述密闭垂直支架包括：可移动基座；在所述基座上的外壳，用于容纳至少一个基板，其中所述外壳具有气体入口；在所述外壳中的对准工具，用于接收基板和稍微倾斜基板；和可密封门，用于密闭所述外壳，其中所述门的尺寸允许基板穿过。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||