耐潮电光器件

摘要

本发明涉及一种电光调制器结构，它包括埋入器件中的一组附加偏压电极，用于施加偏压以设置工作点。由此用于调制输入光信号的射频电极可以在零直流偏压下工作，减小了非密封包装中可能存在的电化及其他效应造成的电极腐蚀。偏压电极至少与基片以缓冲层部分分隔，在一种实施方式中该缓冲层电导率较低。该导电缓冲层会减小偏压电极带来的光学损耗，也会减小直流漂移。

主权项

一种电光器件，其包括：电光基片，在所述电光基片中形成光波导；射频电极结构，其被布置用于在所述光波导中生成射频电场，所述射频电极结构包括第一射频电极；第一缓冲层，其被布置在所述基片与所述第一射频电极之间；偏压电极结构，其被布置用于在所述光波导中生成低频或直流电场，所述偏压电极结构包括第一偏压电极，所述第一偏压电极至少部分被布置在所述第一缓冲层与所述第一射频电极之间；以及第二缓冲层，其被布置在所述第一射频电极与所述第一偏压电极之间。