基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块

摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块，包括壳体、硅橡胶膜片、压环、基板以及旋塞，硅橡胶膜片、压环、基板组成的腔体内充满有硅油，MEMS压力传感器和测温元件电装在基板接触硅油的一侧，信号调理器和信号线电装在基板非接触硅油的一侧，壳体和压环之间通过硅橡胶膜片的弹性变形密封连接。MEMS压力传感器实时感知由硅橡胶膜片和硅油传递的锅内气体压力；测温元件实时感知压力传感器的温度。本实用新型有益的效果是：具有压力动态测量顺畅；压力检测范围广、灵敏度高、精度高；结构简单、兼容性强、便于安装；性能可靠、成本低、适宜大批量生产等特性。

主权项

一种基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块，其特征是：包括壳体(1)、硅橡胶膜片(2)、压环(3)、基板(4)以及旋塞(5)，硅橡胶膜片(2)、压环(3)、基板(4)组成的腔体内充满有硅油(6)，MEMS压力传感器(7)和测温元件(8)电装在基板(4)接触硅油的一侧，信号调理器(9)和信号线(10)电装在基板(4)非接触硅油的一侧，壳体(1)和压环(3)之间通过硅橡胶膜片(2)的弹性变形密封连接。