采用氟化剂的氧化物玻璃的表面处理方法

摘要

本发明的课题在于提供可以对氧化物玻璃的表面进行低成本且密合性良好的氟化处理的新的氟化处理方法。本发明通过如下的氧化物玻璃的表面处理方法解决上述课题：它是使氟化剂的气体或将氟化剂以惰性气体稀释而得的混合气体与氧化物玻璃的表面接触的氧化物玻璃的表面处理方法，其特征在于，所述氟化剂是氟单质或可切断氧化物玻璃的骨架中的氧原子与金属原子的键并形成氟原子与金属原子的键的氟化合物，将所述氟化剂接触的所述氧化物玻璃表面的氟化氢浓度控制在1mol％以下。

主权项

一种氧化物玻璃的表面处理方法，它是通过在包含氟化剂的气体或将氟化剂以惰性气体稀释而得的混合气体与固体金属氟化物的密闭容器内实施使氟化剂的气体或将氟化剂以惰性气体稀释而得的混合气体与氧化物玻璃的表面接触的步骤、或者通过将氧化物玻璃设置在连续地流通有氟化剂的气体或将氟化剂以惰性气体稀释而得的混合气体的管路内来实施使氟化剂的气体或将氟化剂以惰性气体稀释而得的混合气体与所述氧化物玻璃的表面接触的步骤的表面处理方法，其特征在于，所述氟化剂是氟单质或可切断氧化物玻璃的骨架中的氧原子与金属原子的键并形成氟原子与金属原子的键的氟化合物，将所述氟化剂接触的所述氧化物玻璃表面的氟化氢浓度控制在1mol％以下。