具有间隔物的静电吸盘

摘要

本发明涉及吸盘表面上形成有多个间隔物的静电吸盘，沿吸盘表面边缘形成有堤部，并将由堤部围成的空间内从吸盘表面突出的多个间隔物通过机械加工成形为角锥或圆锥形状。本发明的静电吸盘，通过使间隔物的末端形成为尖的形状，来使被吸附物，即基板和间隔物之间的接触部分最小化，以使冷却剂，即He气体均匀地供给到整个被吸附物表面，并且通过机械加工来形成间隔物，具有可提高间隔物耐久性的效果。

主权项

一种静电吸盘，其包括：基板；第一绝缘层，其形成在所述基板上；内部电极层，其以设定的图案形成在所述第一绝缘层上；第二绝缘层，其形成在所述第一绝缘层和所述内部电极层上，其特征在于，所述第二绝缘层具有：堤部，其沿所述第二绝缘层表面的边缘形成；多个间隔物，其位于由所述堤部所包围的空间中，从所述第二绝缘层的表面突出形成且具有角锥或圆锥形状。