表面声波感测器

摘要

本发明属于声波感测技术领域。公开一种表面声波感测器，它包括压电基底，设置于压电基底表面的输入叉指电极、输出叉指电极，以及设置于压电基底表面且位于输入叉指电极与输出叉指电极之间的感测装置，所述感测装置包括纳米柱阵列或纳米管阵列，在纳米柱或纳米管表面具有感测材料层。纳米柱为硅纳米柱，纳米管为碳纳米管。感测材料层的材料为氧化锌，在感测材料层表面具有若干纳米线。所述纳米线为氧化锌纳米线，其直径比硅纳米柱或碳纳米管的直径小。本发明的表面声波感测器可作为紫外线感测器、氢气感测器使用。本发明的感测装置包括纳米柱或纳米管阵列，提高了感测装置的感测表面积，使得本发明的表面声波感测器的感测效果得以提高。

主权项

一种表面声波感测器，其包括：压电基底，设置于压电基底表面的输入 叉指电极、输出 叉指电极，以及设置于压电基底表面且位于输入 叉指电极与输出 叉指电极之间的感测装置，其特征在于，所述感测装置包括纳米柱阵列或纳米管阵列，在纳米柱或纳米管表面具有感测材料层。