上研磨盘和下研磨盘

摘要

一种匹配使用的上研磨盘和下研磨盘，上研磨盘研磨面、下研磨盘研磨面上分别设有呈井字形排列的研磨液嵌槽；上研磨盘的盘体上设有多个流液孔，所述流液孔的出口与所述上研磨盘研磨面相通，其特征是：所有流液孔的出口均分别位于呈井字形排列的研磨液嵌槽的交叉处上。具体实施时，研磨液嵌槽的槽深与研磨盘厚度相关联，上下研磨盘研磨液嵌槽的槽距具有比例关系，且研磨液嵌槽的槽宽与研磨盘盘径相关联。本实用新型解决现有技术上研磨盘出液不畅、流液不均，以及瞬间停液的问题；在研磨作业中，工件不会出现局部干磨，造成划片、崩点、破片翻车等现象，产品具有平面度、粗糙度和平行度好的优点。

主权项

一种上研磨盘和下研磨盘，上研磨盘（1）和下研磨盘分体，上研磨盘研磨面（5）、下研磨盘研磨面上分别设有呈井字形排列的研磨液嵌槽（6）；上研磨盘（1）的盘体上设有多个流液孔（3），所述流液孔（3）的出口与所述上研磨盘研磨面（5）相通，其特征是：所有流液孔（3）的出口均分别位于呈井字形排列的研磨液嵌槽（6）的交叉处（8）上。