| 摘要 |
<p>본 발명은 도가니 내주((內周) 부분의 불순물 농도가 낮은 고순도 석영 유리 도가니 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 중공(中空) 회전 몰드 내면의 석영 원료 분말을 아크 가열하여 석영 도가니를 제조하는 경우, 몰드와 아크 전극 사이에 전압을 인가하여 도가니 내주측의 용융 석영 유리에 포함된 불순물 금속을 외주측으로 이동시켜서 용융 석영 유리층의 순도를 높이는 방법으로서, 접지 아크 전극 전위를 ±500 V 이내로 유지하고, 접지 절연한 몰드에 -1,000 V∼-20,000 V의 전압을 인가하여, 외주측의 미용융 석영층에 대해 고전압을 인가함으로써, 도가니 내표면으로부터 깊이 1 ㎜의 영역에 포함된 Na 및 Li가 각각 0.05 ppm 이하인 석영 유리 도가니를 제공한다.</p> |
